生産機械システム技術科実習棟の南側に、超精密技術センター(14号棟)があります。クリーンルームを備えた超精密加工、超精密測定をするための施設で、走査電子顕微鏡、高精度マイクロスコープ、マルチビューワーシステム、YAGレーザ加工装置、FIB装置、超精密加工機などがあります。学生の教育はもちろんのこと、地域との連携も行っています。
表面粗さ形状測定器
非接触式
表面粗さ形状測定器
干渉計
建屋の奥には、建物の名称となっている、超精密な加工機と測定器があります
この設備がある部屋に入るには、シャワールームで、細かいチリなどをなくしてからでないと入室ができません。