応用課程 開発課題20周年史

98 2009 年度 開発課題（生産システム技術系） グループ１ マイクロハンドの開発 指導教員 伊藤 昌樹 青木 亮二 日浦 優 今日，産業機械の分野では，機械部品やシステム全体のマイ クロ化が技術的にひとつの大きな流れとなっている．例を挙げ ると，半導体の高集積化に対応した製造装置の微細加工への要 求がある．そして現在私たちの教育環境では，超精密位置決め による高精度な加工が可能である．その次のステップとして， 加工した微細な部品の保持や移動を可能にする超精密加工用 のマイクロハンドが必要となったため開発を行うこととした． グループ２ ダイシングシート自動検査装置の開発 指導教員 山下 忠 田野 英一 浅野 博 ダイシングシートはセパレータと粘着剤が塗布された基材が 張り合わされており，薄く透明なシール状である．このダイシン グシートは半導体製造工程においてウエハの切断の際に用いら れる．切断する際に，ゴミ等からパターン面の保護及び散乱を防 ぐために使用する．ダイシングシートの切断までは自動化して いるが，シート切断後の不良品（異物・気泡，シワ）の検出，枚 葉検査，シートの袋詰めといった工程は手作業で行っている．そ こで，この企業からタクトタイムの向上及び生産コストの削減 が可能な自動検査装置の開発を提案され，取り組むことにした． グループ３ ナス自動選果装置の開発 指導教員 神野 豊 野村 征司 加部 通明 依頼企業では，生産者側と企業側でナスの選果を 2 度 行っている．この選果作業を自動化することで，労力軽 減，コストダウン，選果の均一化を図る．また，作成し たデータベースを基に農業指導等に活かす．なお，本課 題は昨年度からの継続課題である．昨年度の資料等を 参考にし，完成のために以下を考慮した． ①自動でナスを選果する装置の開発 ②検査結果のデータベース化 ③供給装置と検査装置に分けて開発 98